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更新时间:2024-09-09 07:32:28 编号:03obll8e0f2be
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美国KAYEX\国外以美国KAYEX 为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上,进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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具体地,为了减小螺钉16的上端部与上减震橡胶垫172之间的压强,进而延长上减震橡胶垫172的使用寿命,所述螺钉16的上端部和上减震橡胶垫172之间设置有垫片173。在本实施例中,所述螺钉16设置有四个,为了当不再继续加料时,可以更方便地将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,并方便外部化料器7的移动、拆解和清理,连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂18,所述底座1上设置有立柱10,所述化料器旋臂18铰接在立柱10上,所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂18上,所述外部化料器7连接在化料器升降驱动装置上,以便在不继续加料时,通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器7上升不干涉主炉室坩埚21上升的位置;和化料器升降驱动装置及外部化料器7随化料器旋臂18一起转动。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。购买技术主要要求1.单晶炉装料量(单台机产能多少) 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度) 5设备制造工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。

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上海河辰物资回收利用有限公司
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  • 上海 嘉定
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  • 2020-12-19
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