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穿过所疼气流导向装置(20) 的中轴孔(2-1),该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2), 该炉的排气口 (13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通,气 流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16) 之间。3、 根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4、 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5、
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直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备低电阻率单晶。据统计,世界上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。江南电力光伏科技有限,引进消化吸收国外技术研发环保清洁可再生新能源产品——太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种,具有自主知识产权。生产的单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)DR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权,是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的设备。装料量从95Kg~150Kg,可拉制6"~12"电路级和太阳能级单晶硅棒。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收, 单晶炉构成编辑=提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成/副室:主要是副室筒以及上下法兰组成/ 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成/炉筒:包括取光孔下炉筒:包括抽真空管道/底座机架:全铸铁机架和底座/坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成/分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等/管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等/电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线
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