江苏吴中离子泵回收 江苏吴中单晶炉回收
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在本实施例中,所述副炉室升降驱动装置12的结构和加料器升降驱动装置的结构一致,所述副炉室旋转驱动装置13的结构和加料器旋转驱动装置的结构也一致。为了防止在副炉室3移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室3移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板153、电动推杆152、接晶托电机154和固定管151,所述电动推杆152连接在副炉室旋臂14上,所述提升杆连接在电动推杆152的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机154连接在提升杆上,所述托板153连接在接晶托电机154的输出轴上,以便通过接晶托电机154驱动托板153旋转,所述固定管151套装在提升杆和电动推杆152的推杆的外侧,所述固定管151连接在副炉室旋臂14上。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,所述化料器升降驱动装置包括支撑杆191、丝杠192、电机193和连接块194,所述支撑杆191连接在化料器旋臂18上,所述丝杠192可旋转地支承在支撑杆191上,所述电机193连接在丝杠192上,所述连接块194通过螺纹连接在丝杠192上,所述外部化料器7连接在连接块194上,以便通过电机193驱动丝杠192旋转,进而将丝杠192的旋转运动转换为连接块194的直线运动,并通过所述连接块194带动外部化料器7升降。具体地,为了使得溶化后的硅料更好地进入主炉室坩埚21内,所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21之间还设置有用于导流溶化后的硅料的导流管20。
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进一步提供了一种加料器旋转驱动装置的具体结构,所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机、旋转丝杆、旋转套和固定座,所述旋转套铰接在拖板上,所述旋转丝杆可旋转地支承在固定座上,所述旋转电机安装在固定座上,所述旋转丝杆的一端部和旋转电机的输出轴相连接,所述旋转丝杆的另一端部和旋转套通过螺纹连接,所述加料器旋臂铰接在拖板上,以便通过旋转电机驱动旋转丝杆在旋转套内旋进旋出,使得固定座产生位移,并使固定座带动加料器旋臂旋转。进一步为了方便副炉室移动到取晶位,并方便副炉室的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置,所述所述副炉室通过副炉室旋臂连接在副炉室升降驱动装置上,以便通过副炉室升降驱动装置驱动副炉室旋臂升降,并通过副炉室旋臂带动副炉室升降,所述副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂之间,以便使得副炉室旋转驱动装置随副炉室旋臂一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置驱动副炉室旋臂旋转,副炉室旋臂又带动副炉室旋转。