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更新时间:2024-12-23 07:41:45 编号:1338evruo6085c
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进一步提供了一种加料器旋转驱动装置的具体结构,所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机、旋转丝杆、旋转套和固定座,所述旋转套铰接在拖板上,所述旋转丝杆可旋转地支承在固定座上,所述旋转电机安装在固定座上,所述旋转丝杆的一端部和旋转电机的输出轴相连接,所述旋转丝杆的另一端部和旋转套通过螺纹连接,所述加料器旋臂铰接在拖板上,以便通过旋转电机驱动旋转丝杆在旋转套内旋进旋出,使得固定座产生位移,并使固定座带动加料器旋臂旋转。进一步为了方便副炉室移动到取晶位,并方便副炉室的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置和副炉室旋转驱动装置,所述所述副炉室通过副炉室旋臂连接在副炉室升降驱动装置上,以便通过副炉室升降驱动装置驱动副炉室旋臂升降,并通过副炉室旋臂带动副炉室升降,所述副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂之间,以便使得副炉室旋转驱动装置随副炉室旋臂一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置驱动副炉室旋臂旋转,副炉室旋臂又带动副炉室旋转。
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单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的\单晶炉主要需要控制的方面一、晶体直径(尺寸)二、温度(功率控制)三、原料(硅料)四、泄漏率,质量等\本文由rxl提供,欢迎大家完善分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性;籽晶轴旋转及提拉密封均采用的磁流体密封组件,无泄露,长期使用不需充磁;精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱、双滚动直线导航、精密滚珠丝杠以及进口等功能件组合设计,确保坩埚系统在超重低速工况下长期平稳运行。浮动式翻板阀设在主副炉室之间,可在热场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。

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主营地区:上海市
企业类型:有限责任公司
公司成立时间:2020-12-19
经营模式:贸易型
公司邮编:201800
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