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具体实施方式、本实施例的直拉式单晶生长炉包括输入管12、与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11;其特征在于经输入管12 输入的气压为0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该炉底部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20;其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l、设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2、以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3;该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1，该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2，该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。

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全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的消耗的技术问题，本发明提供了一种直拉式单晶生长炉，其包括输入管、与输入管相连通的环形气体分布器；其特征在于经输入管输入的气压为0.8×10³Pa0.9×10³Pa，流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置；其包括中轴孔、一对电极孔、以及与排气口相对的通气孔；石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，所述电极柱分别穿过所述电极孔，排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，权利要求1、一种直拉式单晶生长炉，包括设于该炉顶部并伸入炉内的输入管(12)、与输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)；其特征在于经输入管(12)输入的气压为0.8×10a0.9×10a，流量为30L/min。2、 根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于还包括 设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该炉底部的排气口 (13)之间的气流 导向装置(20);该气流导向装置(20)为碗形，其包括设于气流导向装 置(20)底部的中轴孔(2-1)、设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电 极孔(2-2)、以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口 (13)相 对的通气孔(2-3);该炉的石墨中轴(21)