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具体地,为了减小螺钉16的上端部与上减震橡胶垫172之间的压强,进而延长上减震橡胶垫172的使用寿命,所述螺钉16的上端部和上减震橡胶垫172之间设置有垫片173。在本实施例中,所述螺钉16设置有四个,为了当不再继续加料时,可以更方便地将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,并方便外部化料器7的移动、拆解和清理,连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂18,所述底座1上设置有立柱10,所述化料器旋臂18铰接在立柱10上,所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂18上,所述外部化料器7连接在化料器升降驱动装置上,以便在不继续加料时,通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器7上升不干涉主炉室坩埚21上升的位置;和化料器升降驱动装置及外部化料器7随化料器旋臂18一起转动。
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所述主炉室内设置有主炉室坩埚,所述下驱动装置和主炉室坩埚相连,以便通过下驱动装置动主炉室坩埚升降,所述副炉室和主炉室相连通,所述上驱动装置安装在副炉室的上端,以便通过上驱动装置驱动拉晶,它还包括:外部加料器,所述外部加料器内设置有加料腔,所述加料腔内设置有加料坩埚,所述外部加料器的盖装有上盖;用于熔化硅料的外部化料器,所述外部化料器的和加料坩埚相连通,所述外部化料器的底端和主炉室坩埚相连通,以便将硅料加加料坩埚后,硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化,被熔化后的硅料流主炉室坩埚内。进一步提供了外部化料器的具体结构,所述外部化料器包括装料器、化料器坩埚和用于给化料器坩埚加热以便硅料熔化的热场,所述装料器和加料坩埚相连通,所述化料器坩埚和装料器相连通,所述热场套装在化料器坩埚的外侧,便硅料依次进入加料坩埚、装料器和化料器坩埚,并在化料器坩埚内经热场熔化后又进入主炉室坩埚。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时,提拉系统的软轴会出现明显的晃动,这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施,但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析,找出引起提拉系统软轴晃动
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