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直拉式单晶炉回收 |
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从除尘区域经上盘12 个圆孔进入排气区域(排气筒) 的弃尘气流终由排气口排出除尘器。上面主要论述了这种混合式除尘器的除尘机理和过程。值得提出的是,出于某些因素的考虑例如体积小、结构简单、经济性等等,该除尘器略去了排尘区域。所以,应该经常性拆卸进行清灰工作。下面给出这种除尘器的主要技术参数:圆柱容器高度H = 900mm; 内径= á 270mm; 进气口轴线偏离圆柱容器线e= 85mm; 进气口与排气口通径均为á 89mm。内、外层金属网均采用50 目的不锈钢丝网。顺便提一下,在很多情况下,用户拆去全部金属杆和金属网,仅以离心力作为主要除尘机理便满足了单晶炉真空系统的除尘要求。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,一种连续拉晶单晶炉背景技术:目前,大多数单晶炉都是采用一次性向主炉室坩埚投料的方法,通常是生产完一炉后,等单晶炉冷却后,再往主炉室坩埚内装料,进行下一次生产,这样既浪费了时间,又造成了热量的流失,且在拉晶棒的过程中,不能进行补料操作,在拉晶棒的后期阶段,会因为硅料中某些元素的挥发而影响晶棒后半部分的质量。技术实现要素:本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种连续拉晶单晶炉,它可以连续加料、连续化料,从而实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒,减少了冷却、拆炉、装炉的时间,提高了生产效率,也减少了热量的流失。为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是:一种连续拉晶单晶炉,它包括括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置,所述主炉室和下驱动装置均安装在底座上,
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