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单晶炉真空系统的除尘技术为便于分析研究起见，将整个除尘过程分为有联系而又有区别的如下三个过程。捕集分离过程该过程可分为捕集推移阶段和分离阶段。 捕集推移阶段　均匀混合或悬浮在气体中的粉尘进入除尘器的除尘空间，根据不同的除尘器类型经受不同的外力作用，将粉尘推移到分离界面。随着粉尘向分离界面推移，浓度也越来越大，故捕集推移阶段实质也是粉尘浓缩的阶段。分离阶段　高浓度的尘流向分离界面以后，有两种机理在起作用：气体运载粉尘的能力将达到极限状态，悬浮与沉降这对矛盾中，沉降成为主要方面，通过沉降，粉尘从气体中分离出来。极限状态的影响因素一般与气流速度及边壁的边界条件有关。

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炉子本体包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲系统及水冷系统。机架由底座、上立柱和下立柱组成，是炉子的支撑装置。江浙沪皖赣冶炼行业成套设备回收单位，整改停用冶炼机械产品拆除回收，本长期收购中频炉，单晶炉，电解炉，高风炉，热风炉，单晶硅生长炉，整改回收，整流柜收购，电抗器拆除回收，水冷电缆拆除收购，动力电缆拆除收购业务，我长年收购单晶炉设备欢迎来电详询。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，因此，在向单晶炉内不断充入 的同时，还用真空泵将混合气体排出炉外；在排气时，混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处，后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大，尤其是坩埚 支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出， 热能消耗量较大；另外，现有技术中，从输入管向炉内充入时， 充气气压为1. 3x 103pa，流量为40L/min,因此其消耗量大，生产 成本较高。