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所述化料器升降驱动装置包括支撑杆191、丝杠192、电机193和连接块194，所述支撑杆191连接在化料器旋臂18上，所述丝杠192可旋转地支承在支撑杆191上，所述电机193连接在丝杠192上，所述连接块194通过螺纹连接在丝杠192上，所述外部化料器7连接在连接块194上，以便通过电机193驱动丝杠192旋转，进而将丝杠192的旋转运动转换为连接块194的直线运动，并通过所述连接块194带动外部化料器7升降。具体地，为了使得溶化后的硅料更好地进入主炉室坩埚21内，所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21之间还设置有用于导流溶化后的硅料的导流管20。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，进一步为了避免下驱动装置受到外界震动的影响，进而保下驱动装置的工作精，所述底座和下驱动装置之间设置有减震装置，所述下驱动装置的底端设置有承载板，所述承载板通过少两个螺钉固定连接在底座上，所诉减震装置包括与螺钉分别一一对应的下减震橡胶垫和上减震橡胶垫，所述下减震橡胶垫套装在螺钉的下端部，所述下减震橡胶垫的底部和底座抵接，所述下减震橡胶垫的顶部和承载板抵接，以便于通过下橡胶减震垫吸收从外界传来的震动，以避免下驱动装置受到外界震动的影响，所述上减震橡胶垫套装在螺钉的上端部，且所述上减震橡胶垫与承载板的上端面压接，以避免螺钉的震动影响到承载板。