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更新时间:2025-03-01 01:53:22 编号:702afolled168c
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一种连续拉晶单晶炉背景技术:目前,大多数单晶炉都是采用一次性向主炉室坩埚投料的方法,通常是生产完一炉后,等单晶炉冷却后,再往主炉室坩埚内装料,进行下一次生产,这样既浪费了时间,又造成了热量的流失,且在拉晶棒的过程中,不能进行补料操作,在拉晶棒的后期阶段,会因为硅料中某些元素的挥发而影响晶棒后半部分的质量。技术实现要素:本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种连续拉晶单晶炉,它可以连续加料、连续化料,从而实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒,减少了冷却、拆炉、装炉的时间,提高了生产效率,也减少了热量的流失。为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是:一种连续拉晶单晶炉,它包括括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置,所述主炉室和下驱动装置均安装在底座上,
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进一步为了防止在副炉室移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板、电动推杆、接晶托电机和固定管,所述电动推杆连接在副炉室旋臂上,所述提升杆连接在电动推杆的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机连接在提升杆上,所述托板连接在接晶托电机的输出轴上,以便通过接晶托电机驱动托板旋转,所述固定管套装在提升杆和电动推杆的推杆的外侧,所述固定管连接在副炉室旋臂上。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,由于数值模拟提供了一个近似真实的过程,利用这一技术可以很容易的对任何类型的变化(几何尺寸、保温材料、加热器、环境等)对晶体质量的影响做出容易的判断。数值仿真是用来获得廉价的,完整的和细节的结晶过程,以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。举例来说,对于无经验人员,可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值仿真是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径,质量要求的办法。面向过程的仿真软件FEMAG为用户提供了可以深入研究的数值工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的仿真计算,优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以仿真结果设定合理的理论拉晶曲线可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶硅棒。

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上海河辰物资回收利用有限公司
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  • 2020-12-19
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