苏州吴中蓝宝石长晶炉回收螺杆真空泵回收物流提货
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提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性;籽晶轴旋转及提拉密封均采用的磁流体密封组件,无泄露,长期使用不需充磁;精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱、双滚动直线导航、精密滚珠丝杠以及进口等功能件组合设计,确保坩埚系统在超重低速工况下长期平稳运行。浮动式翻板阀设在主副炉室之间,可在热场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,用于熔化硅料的外部化料器7,所述外部化料器7的和加料坩埚62相连通,所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21相连通,以便将硅料加加料坩埚62后,硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化,被熔化后的硅料流主炉室坩埚21内。具体地,外部加料器6和外部化料器7之间设置有旋阀64,以便通过旋阀64控制外部加料器6和外部化料器7之间是否连通,所述外部化料器包括装料器71、化料器坩埚72和用于给化料器坩埚72加热以便硅料熔化的热场73,所述装料器71和加料坩埚62相连通,所述化料器坩埚72和装料器71相连通,
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