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D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移） 　　E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子） 　　F． 转筒式炉 　　G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。采用辐射管加热，辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中，这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）4． 连续式电阻炉　　A． 推送式炉 　　B． 传送带式炉 　　C． 网带炉（适用于薄小零件的退火、烧结、钎焊及固溶处理。

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离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前制备单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中,传统装料方法为炉前装料,即,以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉、真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内,装料时间(清炉结束到合炉)约为2h,操作起来较繁琐。此外,装料工工作量不饱和,存在人力浪费现象;在车间内部装料过程中涉及环节较多,硅料的洁净度存在质量隐患,不能确保硅棒的产品质量[2]。随着光伏市场竞争的日趋激烈,追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，因此，在向单晶炉内不断充入 的同时，还用真空泵将混合气体排出炉外；在排气时，混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处，后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大，尤其是坩埚 支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出， 热能消耗量较大；另外，现有技术中，从输入管向炉内充入时， 充气气压为1. 3x 103pa，流量为40L/min,因此其消耗量大，生产 成本较高。