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为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移） 　　E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子） 　　F． 转筒式炉 　　G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。采用辐射管加热，辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中，这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）4． 连续式电阻炉　　A． 推送式炉 　　B． 传送带式炉 　　C． 网带炉（适用于薄小零件的退火、烧结、钎焊及固溶处理。

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单晶炉设备知识、部分电控柜1.两个滤波器的作用型号,原理以及正常工作的电压,输入输出(好坏如何检测)2.两个伺服驱动器的作用原理型号以及相关判断方式,输入输出(好坏如何检测)3.两个一般驱动器的作用原理型号以及判断方式,输入输出(好坏如何检测)4.继电器的型号作用以及类别,输入输出(好坏如何检测)5.反馈放大板的作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)6.