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基本介绍编辑1、主机部分:机架,双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2、加热器电源:全水冷电源装置采用专利电源或原装进口IG及超快恢复二极管等功率器件。配以高频变压器,构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关(ZVS)及CPU控制技术,提高了电能转换效率,不需要功率因数补偿装置。3、计算机控制系统:采用PLC和上位工业平板电脑PC机,配备大屏幕触摸式HMI人机界面、高像素CCD测径ADC系统和具有知识产权的“全自动CZ法晶体生长SCADA监控系统”,可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的消耗的技术问题,本发明提供了一种直拉式单晶生长炉,其包括输入管、与输入管相连通的环形气体分布器;其特征在于经输入管输入的气压为0.8×10
3Pa0.9×10
3Pa,流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置;其包括中轴孔、一对电极孔、以及与排气口相对的通气孔;石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。
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提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成\副室:主要是副室筒以及上下法兰组成\ 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成\炉筒:包括取光孔\下炉筒:包括抽真空管道\底座机架:全铸铁机架和底座\坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成\分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等\管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等\电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线