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大直径硅单晶的制备与数值分析\大直径硅单晶是微电子工业的基础材料,广泛应用于集成电路备件和硅片制造领域,是现今信息社会的基石。根据半导体设备材料产业协会(SEMI)的报告,大直径硅单晶的需求依然旺盛,450mm硅单晶要继续开发研究。当前主流集成电路设备用部件急需400mm硅单晶并提出低成本的要求,开发400mm硅单晶和研究晶体制备的工艺过程,无疑具有重要的理论意义和现实需求。同时,开发下一代450mm集成电路用硅晶体、研究外加磁场对改善晶体质量的作用,对于我国未来制造450mm硅片具有重要的战略意义。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前制备单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中,传统装料方法为炉前装料,即,以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉、真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内,装料时间(清炉结束到合炉)约为2h,操作起来较繁琐。此外,装料工工作量不饱和,存在人力浪费现象;在车间内部装料过程中涉及环节较多,硅料的洁净度存在质量隐患,不能确保硅棒的产品质量[2]。随着光伏市场竞争的日趋激烈,追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。
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所述化料器升降驱动装置包括支撑杆191、丝杠192、电机193和连接块194，所述支撑杆191连接在化料器旋臂18上，所述丝杠192可旋转地支承在支撑杆191上，所述电机193连接在丝杠192上，所述连接块194通过螺纹连接在丝杠192上，所述外部化料器7连接在连接块194上，以便通过电机193驱动丝杠192旋转，进而将丝杠192的旋转运动转换为连接块194的直线运动，并通过所述连接块194带动外部化料器7升降。具体地，为了使得溶化后的硅料更好地进入主炉室坩埚21内，所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21之间还设置有用于导流溶化后的硅料的导流管20。
