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因此,在向单晶炉内不断充入 的同时,还用真空泵将混合气体排出炉外;在排气时,混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处,后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大,尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大;另外,现有技术中,从输入管向炉内充入时, 充气气压为1. 3x 103pa,流量为40L/min,因此其消耗量大,生产 成本较高。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,电气特点(1)本系统采用PLC,工业彩色触摸屏,因此系统结构简单,具有用电省, 发热小的特点。系统可靠性很高,不会死机。同时触摸屏和PLC间工作,连接仅仅使用1根通讯线即可。(2) 控制软件、系统能按照工艺员写入的工艺文件,进行半自动拉晶,可以在显示器上修改,立即生效,操作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加功率限制,信号故障判断诊断功能,可以排除观察孔污染,信号被干扰,加热电源故障,加热器短路,加热器电阻突变,人工输入失误等错误。(3) 工作站监控系统、本系统还配置有工作站监控系统,用一台PC机可同时监控8台单晶炉,采用RS422高速通讯,光电隔离,可靠性高。
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进一步为了方便外部加料器的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器通过加料器旋臂连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂升降,并通过加料器旋臂带动外部加料器升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂旋转,加料器旋臂又带动外部加料器旋转。进一步提供了一种加料器升降驱动装置的具体结构,所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆、拖板和丝杆旋转驱动装置,底座上设置有立柱,所述升降丝杆可旋转地支承在立柱上,所述拖板通过螺纹连接在升降丝杆上,所述加料器旋臂连接在拖板上,所述升降丝杆连接在丝杆旋转驱动装置上,以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆旋转,进而将升降丝杆的旋转运动转换为加料器旋臂的升降运动。