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本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) ) 蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,结构类似传送带式炉) D. 连续式转筒炉 E. 辊底炉(料盘在辊子上运动) F. 转底炉,中频电炉设备主要应用领域: 1、机床导轨的淬火处理; 2、煤矿用截齿的焊接; 3、矿山用一字钎头和梅花钎头的焊接; 4、直径30以下螺栓的热变形; 5、直径30以下的螺母的热变形; 6、金属粉末重熔; 7、直径300以下链轮的热处理; 8、直径80以下轴的淬火处理; 9、直径80以下工件的横截面处理; 10、各种手工工具的淬火处理(锤子,斧头,管钳,断线钳)
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电控系统采用微机控制,功能全、精度高、稳定性好。且具有以下特点:温度自动控制系统\电机调速控制系统\单晶直径自动控制系统\单晶熔体自动跟踪系统\单晶重量及长度显示功能\各拉晶有关参数包括籽晶轴,坩埚轴的转动速度,晶升和埚升速度,炉内压力,冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示,两笔记录仪记录温度和籽晶拉速,能稳定的控制生长直径5~8英寸,直径均匀的无错位单晶。采用软籽晶轴,具有特的晶体提升机构。的磁流体密封技术,新型翻板阀结构,拱形封头式炉盖结构,考虑热变形采用浮动提升结构,防止卡死现象。单晶提拉采用可承受150Kg不锈钢丝软轴,电控系统采用微机控制,红外测径技术,进口电动及驱动器,保生长大扭矩高稳定性。