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进一步为了防止在副炉室移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板、电动推杆、接晶托电机和固定管,所述电动推杆连接在副炉室旋臂上,所述提升杆连接在电动推杆的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机连接在提升杆上,所述托板连接在接晶托电机的输出轴上,以便通过接晶托电机驱动托板旋转,所述固定管套装在提升杆和电动推杆的推杆的外侧,所述固定管连接在副炉室旋臂上。
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所述热场73套装在化料器坩埚72的外侧,便硅料依次进入加料坩埚62、装料器71和化料器坩埚72,并在化料器坩埚72内经热场73熔化后又进入主炉室坩埚21,为了方便外部加料器6的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器6升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器6旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器6通过加料器旋臂8连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂8升降,并通过加料器旋臂8带动外部加料器6升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂8之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂8一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂8旋转,加料器旋臂8又带动外部加料器6旋转。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成、副室:主要是副室筒以及上下法兰组成、 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成/炉筒:包括取光孔、下炉筒:包括抽真空管道、底座机架:全铸铁机架和底座? 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成、分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等、管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管’电源以及电控柜:电源柜 滤波柜、控制柜、以及连接线等等、
主营行业:变压器回收 |
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主营地区:上海市 |
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公司成立时间:2020-12-19 |
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