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更新时间:2024-06-05 04:58:40 编号:e22afibl04364a
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具体实施方式、本实施例的直拉式单晶生长炉包括输入管12、与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11;其特征在于经输入管12 输入的气压为0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该炉底部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20;其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l、设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2、以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3;该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1,该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2,该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,穿过所疼气流导向装置(20) 的中轴孔(2-1),该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2), 该炉的排气口 (13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通,气 流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16) 之间。3、 根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4、 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5、
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浙江海宁长晶炉回收 涡旋高真空泵回收附近一种连续拉晶单晶炉背景技术:目前,大多数单晶炉都是采用一次性向主炉室坩埚投料的方法,通常是生产完一炉后,等单晶炉冷却后,再往主炉室坩埚内装料,进行下一次生产,这样既浪费了时间,又造成了热量的流失,且在拉晶棒的过程中,不能进行补料操作,在拉晶棒的后期阶段,会因为硅料中某些元素的挥发而影响晶棒后半部分的质量。技术实现要素:本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种连续拉晶单晶炉,它可以连续加料、连续化料,从而实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒,减少了冷却、拆炉、装炉的时间,提高了生产效率,也减少了热量的流失。为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是:一种连续拉晶单晶炉,它包括括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置,所述主炉室和下驱动装置均安装在底座上,

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