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所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆91、拖板92和丝杆旋转驱动装置，底座1上设置有立柱10，所述升降丝杆91可旋转地支承在立柱10上，所述拖板92通过螺纹连接在升降丝杆91上，所述加料器旋臂8连接在拖板92上，所述升降丝杆91连接在丝杆旋转驱动装置上，以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆91旋转，进而将升降丝杆91的旋转运动转换为加料器旋臂8的升降运动。具体地，所述丝杆旋转驱动装置包括升降电机93和减速机94，所述减速机94连接在升降电机93的输出轴上，所述升降丝杆91连接在减速机94的输出轴上。

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在该炉工作前，由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽，然后从 该炉上端充入。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成，因此在不断充入的同时，所述真空泵同时将一氧化硅、粉 尘杂质与等的混合气体排出，其中，气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙，以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20,然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3、通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间)，便于排气，且利于减少热能和的消耗量；另外，分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，上虞半导体材料生产设备的设计、制造和调试的股份制企业。通过人才引进，拥有一批高、中级技术型的研发设计人员和经营管理人才，具有自主的产品设计开发能力和相当规模的生产能力。依托浙江大学机械电子控制工程研究所的高科技优势，通过与浙江大学大学科技园杭州慧翔电液技术开发有限合作，共同开发出拥有自主知识产权的ZJS系列TDR80A，TDR80B，TDR8，TDR9型全自动晶体生长炉，并形成批量生产。