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进口环境监测设备需要哪些资料
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单晶炉 9、光刻机
2、气相外延炉 10、反应离子/等离子体刻蚀系统设备
3、分子束外延系统设备 11、离子注入机
4、氧化炉 12、探针测试台
5、低压化学气相淀积系统设备 13、晶片减薄机
6、等离子体增强化学气相淀积系统设备 14、晶圆划片机
7、磁控溅射台 15、引线键合机等
8、化学机械抛光机
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