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19”机架单元和便携单元
技术规范
ULTRAMAT 23，19" 机架式和便携版

一般信
测量组分

大 4

量程

2/测量组分

显示

带 LED 背光对比度可调的 LCD 显示；功能建；80 字符（4 行/20 字符）

操作位置

前壁板，垂直

符合性

CE 认证（EN 61000‑6‑2，EN 61000‑6‑4）

设计，外壳


重量

约 10 kg

保护类型，19" 机架式装置和台式型号

7MB2335、7MB2337 和 7MB2338：
IP20，符合标准 EN 60529
7MB2355、7MB2357 和 7MB2358：
IP40，符合标准 EN 60529
电气性能

EMC 抗干扰性（电磁兼容性）
具有安全隔离的安全特低电压 (SELV)

符合 NAMUR NE21 或 EN 61326‑1 的标准要求

辅助电源

100 V AC, +10%/-15%, 50 Hz
120 V AC, +10%/-15%, 50 Hz
200 V AC, +10%/-15%, 50 Hz
230 V AC, +10%/-15%, 50 Hz
100 V AC, +10%/-15%, 60 Hz
120 V AC, +10%/-15%, 60 Hz
230 V AC, +10%/-15%, 60 Hz
功耗

约 60 VA

电气输入和输出

模拟量输出

按组分，0/2/4 … 20 mA，NAMUR，浮动，大负载 750 Ω

继电器输出

8 ，带转换触点，可自由设置，例如，量程识别；

24 V AC/DC/1 A，浮动，无火花

数字量输入

3，针对 24 V 进行设计，无电压

泵
全自动标定（AUTOCAL）
同步
串行接口

RS 485

AUTOCAL 功能

使用环境空气（取决于被测组分）进行自动装置校准；循环时间可在 0 (1) … 24 小时范围内调整

选件

电子附件，每个带有 8 个附加的数字量输入和继电器输出，用于例如触发自动校准和用于连接PROFIBUS PA 或 PROFIBUS DP 总线

气候条件

允许环境温度

工作
+5 ... 45 °C（红外检测器，O2）
+5 ... 40 °C（H2S 传感器）
+15 ... 35 °C（紫外光度计）
贮存和运输
-25 ... 60 °C（红外检测器，O2，紫外光度计）
-10 ... 60℃ (H2S 传感器)
允许的环境湿度

仓储和运输：< 90% RH（相对湿度）

允许的压力变动

600 ... 1200 hPa（红外检测器，O2，紫外光度计）
750 ... 1200 hPa（H2S 传感器）
气体进口条件
样气压力
不带泵
不加压（< 1200 hPa（绝压））
带泵
不加压吸气模式，出厂设定的采样气体出口为 2 m 软管，不同限流条件下，采用量程终值校准
（800 ... 1050 hPa（绝压））

样气流量

72 … 120 l/h (1.2 … 2 l/min)

样气温度

小 0 至大 50℃，但露点

样气湿度

< 90% RH（相对湿度），无冷凝

ULTRAMAT 23，红外通道1)

量程

见订货数据

斩波器吹扫

一次压力约为 3000 hPa，清洁气体消耗约为每分钟 100 ml/min

时间响应
升温时间

约 30 分钟（在室温下），（约 2 小时后即可符合技术规范）

延迟显示（T90 时间）

取决于气室长度、样气流动管线和可设置阻尼

阻尼（电气时间常数）

设置范围 0 … 99.9 s

测量响应

基于样气压力 1013 hPa（绝压）、1.0 l/min 样气流量和 25°C 环境温度

输出信号波动

< 当前量程的 ± 1%（见铭牌）

检测限值

当前量程的 1%

线性误差

在大量程内：
< ± 1% 量程终值
在小量程内：
< ± 2% 量程终值
重复精度

≤ ± 当前量程的 1%

偏差

零点

≤ 当前量程的 1%/周

满量程漂移

≤ 当前量程的 1%/周

影响变量

基于样气压力 1013 hPa（绝压）、1.0 l/min 样气流量和 25°C 环境温度

温度

根据铭牌，大 2% 小量程 / 10K，自动校准循环时间为 6 小时

气压

<当前量程的 0.2% / 1% 压力变化

辅助电源

< 当前量程的 0.1%，± 10% 压力变化

1)为确保符合技术规范，为 AUTOCAL 激活 ≤24 小时的循环时间。在德国技术监督局/ QAL 认证系统上测量较小的 NO 和 SO2 量程（≤400mg /m³）时，AUTOCAL 功能的循环时间≤6 小时。

ULTRAMAT 23，氧通道（电化学）

量程

0 … 5% 到 0 … 25% O2，可设置

使用寿命

存在 21% O2 时约为 2 年

检测限值

当前量程的 1%

时间响应

延迟显示（T90 时间）

根据死区时间和可设置阻尼，在样气流量近似 1.2 L/min 时，< 30 s

测量响应

基于样气压力 1013 hPa（绝压）、1.0 l/min 样气流量和 25°C 环境温度

输出信号波动

< 当前量程的 ± 0.5%

线性误差

< 当前量程的 ± 0.2%

重复精度

≤ 0.05% O2

偏差
使用 ACTOCAL
可忽略

影响变量

基于样气压力 1013 hPa（绝压）、1.0 l/min 样气流量和 25°C 环境温度

温度

< ± 0.5% O2/20 K，以 20℃ 为基准

气压

压力每变化 1%，小于测量值的 0.2%

伴生气体

如果载气含有如下成分，则不能使用硫化氢传感器：、重金属、气溶胶、硫醇、碱性组分（如 NH3（量程的%））

典型的燃烧废气

影响效果：< 0.05% O2

湿度

H2O 露点 ≥ 2 °C；氧气传感器不得与干样气一起使用（但是，无冷凝）

ULTRAMAT 23，紫外光度计2)

量程

量程使用经过认证的校准气体校准，根据 使能输入 EN 1343 的浓度规格（ppm）在 0°C 的参考温度和 1013 hPa 的参考压力下转换为单位 mg /m3。

SO2


小量程
0 ... 50 mg/m3

大量程
0 ... 1250 mg/m3

NO2




小量程
0 ... 50 mg/m3

大量程
0 ... 1250 mg/m3

时间响应




升温时间

30 分钟

2 小时后即可符合技术规范

延迟显示（T90 时间）

根据外部气体制备，样气供给管线的长度和装置的可设置阻尼（见下文）。
注：SO2 易溶于水！

≤ 30 s，样气输入后，阻尼时间 ≤ 12 s 时

阻尼（电子时间常数）

0 ... 99.9 s，可设定

测量响应




输出信号波动

≤ 1% 设定量程终值

检测限值

1% 设定量程终值，或：

1 mg/m3 (SO2)
0.8 mg/m3 (NO2)
这相当于两种组分的 0.4ppm

线性误差




在大量程内
≤ 1% 设定量程终值

在小量程内
≤ 2% 设定量程终值

重复精度

≤ 1% 设定量程终值

影响变量




温度误差

≤ 小量程终值的 4%/10 K，环境温度范围 5 ... 45℃

气压

≤ 1% 设定量程终值/1% 压力变化

辅助电源

≤ 0.1% 设定量程终值，变化 ±10%

偏差（零点和满刻度值）




AUTOCAL 已激活
忽略不计，具体取决于循环时间设置

AUTOCAL 已停用



NO2
≤ 0.85 mg/m3/天

SO2
≤ 1.25 mg/m3/天




注

设备投入运行后可能需要长达 12 小时才能达到这些值。

伴生气体




湿度高 20℃ 露点
可忽略

CO2 ≤ 16% vol
可忽略

排除
SO2 以外的硫化合物
卤素化合物
丙酮
Ozone


3)为确保符合技术规范，为 AUTOCAL 激活 ≤24 小时的循环时间。技术规格基于样品气压为 1013±5 hPa（绝压），样气流量为 1.2±0.2 l / min，环境温度为 25±2°C。适用于 SO2 和 NO2 样气组分。

ULTRAMAT 23, H2S 通道用于量程 5 ... 50 vpm




测量组分

多 4 种，包含多达 2 种红外敏感气体、1 种氧气组分和 1 种硫化氢组分

量程




小量程
0 ... 5 vpm

大量程
0 ... 50 vpm

传感器的使用寿命

约 12 个月

允许气压

750 ... 1200 hPa

允许的运行温度

5 ... 40℃ (41 ... 104 °F)

操作模式

在 0 和 12.5 vpm 之间连续测量
在 12.5 和 50 vpm 之间不连续测量
影响变量




伴生气体

如果载气含有如下成分，则不能使用传感器：

含氯化合物
含氟化合物
重金属
气溶胶
碱性组件（例如，NH3 > 5 vpm）
干扰气体

1360 vpm SO2 产生的交叉干扰小于 20 vpm H2S

180 vpm NO 产生的交叉干扰小于 150 vpm H2S

(1000 vpm)4, CO2 和 H2之间没有交叉干扰

温度

< 3%/10 K 量程终值

气压

压力每变化 1%，小于测量值的 0.2%

测量响应




延迟显示（T90 时间）

< 40 s，样气流量 1 ... 1.2 l/min 时

输出信号噪音

< 2% 小量程，30 秒阻尼常数时

显示器分辨率

< 0.01 vpm H2S

输出信号分辨率

< 1% 小量程，30 秒阻尼常数时

重复精度

< 4% 小量程

偏差

< 当前量程的 1%/月



ULTRAMAT 23，顺磁性氧气电池




测量组分

多 4 种，包含多达 3 种红外敏感气体和 1 种氧气组分

量程

2/组分

小 0 ... 2% vol O2
大 0 ... vol O2
可能的抑制量程；例如 95 ...
允许的运行温度

5 ... 45℃ (41 ... 113 °F)

干扰气体

参见“顺磁性氧气电池交叉干扰”表

零点漂移

量程 2%：大 0.1%，每周零点校准
量程 5%：大 0.1%，每周零点校准
量程 25% 或更大：
大 0.5%，按月进行零点校准
测量值漂移

使用自动校准功能时可忽略

温度误差

< 2%/10 K，量程的 5%

< 5%/10 K，量程的 2%

30 分钟后，90% 相对湿度条件下，的湿度误差 2

< 0.6%，在 50℃时

气压

压力每变化 1%，小于测量值的 0.2%

延迟显示（T90 时间）

< 60 s

输出信号噪音

< 1% 小量程

重复精度

< 当前量程的 1%





尺寸图


ULTRAMAT 23，19" 机架式，尺寸单位：mm



ULTRAMAT 23，台式装置，尺寸单位：mm



电路图


ULTRAMAT 23，针脚分配（标准）



ULTRAMAT 23，可选 PROFIBUS 接口卡的引脚分配



ULTRAMAT 23，19" 机架式装置，例如：红外测量组分和氧气测量



ULTRAMAT 23 便携式，在钢板外壳内，气体接头和电气接头



ULTRAMAT 23，不同标签



更多信息
订货说明
在测量某些组分时，遵守特殊的选择规则。

测量组

7MB2335, 7MB2337 和 7MB2338
（应用：硅片生产）

测量范围为 0 至 100 / 500 ppm（MB 标号“E”）
只能用于测量超纯气体中的
7MB2337 和 7MB2338
（应用：按照京都议定书要求的测量）

测量范围为 0 至 500 / 5,000 vpm（MB 标号“Y”）
需要同时测量，以校正交叉干扰
7MB2337-*CP*0-*SY* 或
7MB2338-*DC*0-*SY* （包括一测量）

7MB2337 和 7MB2338
（带有顺磁性氧气测量单元和立气体路径的应用）

7MB2337-4**80-**** - Z + C11
7MB2337-5**80-**** - Z + C11

7MB2338-4**80-**** - Z + C11
7MB2338-5**80-**** - Z + C11

测量组分 SF6

7MB2335, 7MB2337 和 7MB2338
（应用：硅片生产）

测量范围为 0 至 500 / 2,500 ppm（MB 标号“H”）
只能用于测量超纯气体中的 SF6 气体
校准间隔（MCERTs 型 7MB2335、7MB2337、7MB2338）

组分

小量程

校准时间间隔

注释

Z 后缀

CO

0 … 150 mg/m³

5 个月

IED 2010/75/EC

E50

CO

0 … 250 mg/m³

12 个月

IED 2010/75/EC


-

0 … 100 mg/m³

5 个月

IED 2010/75/EC


-

0 … 250 mg/m³

12 个月

IED 2010/75/EC


SO2

0 … 400 mg/m³

12 个月

IED 2010/75/EC


N2O

0 … 500 ppm


京都议定书


N2O

0 … 50 mg/m³

6 个月

IED 2010/75/EC




校准间隔（TÜV 型 7MB2355、7MB2357、7MB2358）

组分

小量程

校准时间间隔

注释

Z 后缀

CO

0 ... 200 mg/m³

1 个月

13th/27th BImSchV

TX3

-

0 ... 150 mg/m³

1 个月

13th/27th BImSchV

TX3

SO2

0 ... 400 mg/m³

1 个月

13th/27th BImSchV

TX3




AUTOCAL
（环境空气）

AUTOCAL
（惰性气体，如N2)


使用校准气体进行校准

注释（遵守技术规格）

零点

校准点

零点

校准点

零点

校准点

小时

周


红外组件

3 ... 24

3 ... 24

o

52


O2 - 电气化学传感器

稳定

3 ... 24

稳定

-

52

o


顺磁性氧气电池

-

3 ... 24

-

-

1

o

MB < 5% 时

-

3 ... 24

-

-

8

o

MB > 5% 时

顺磁性氧气电池

-

-

3 ... 24

-

o

52

MB < 5% 时

-

-

3 ... 24

-

o

52

MB > 5% 时

H2S 传感器

3

-

3

-

o

4


o = 带 AUTOCAL，x = 不适用



校准间隔，标准设备

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