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半导体晶圆真空热处理炉退火

更新时间:2023-08-18 08:36:36 信息编号:c62at8bms85657
半导体晶圆真空热处理炉退火
188000≥ 2台
  • 188000.00 元

  • 上海

  • HS

  • 真空炉,真空退火炉,真空热处理炉

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详情介绍

产品别名
管式真空炉,高真空热处理设备
面向地区
产地
上海
品牌
HS
主要用途
半导体材料真空热处理
产品认证
CE
工作电压
380v
功率
1200w

半导体晶圆真空热处理炉退火

退火可以使材料内部排列更加有序,结构得到改善,半导体在生产过程中,由于加工、工艺、温度等因素,晶体材料会产生一定程度的应力,若不及时消除,会影响半导体器件的电学性能,退火可以使应力消除,材料形成平衡态,缓和晶格应变,减少晶格缺陷和渣质数量和大小,提高半导体的可靠性。

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