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THICK800A测厚仪采用的XRF测厚原理，测量精度可达到±0.1mm。这种使得它可以广泛应用于金属、塑料、陶瓷等多种材料的厚度测量，满足了不同行业对测量精度的严格要求。
满足标准
1.精密度定义为同样品多次测定的平均值m和各次测定值mi之差。换句话说，精密度就是重现性（Reproducibility或Repeatability）。X荧光分析 的精度是和测量的时间有关的，测量的时间越长，则精度越高。 2.重复性定义为仪器测同款样品的连续测试十次或二十次的相对标准偏差。
3.准确度定义为各次测定值mi对于真值（t）的偏差。因而，若精密度差，准确度也定差。反之，准确度很差，精密度确有时很高。这是因为有时可能有系统误差的存在。要想可靠性（Reliability）好，精密度和准确度都要求高。
4. 误差X荧光分析的误差往往是很难计算的，所以，通常情况下，把统计涨落引起的误差作为测量的误差。
5.检出限（Limit of detection）当获得背景强度标准偏差三倍以上的峰值强度时的元素含量，就称为检出限（或叫低检出限）。这时候，测到的含量的置信度（可信的程度）是99.87％.测定检出，般要用含量比较低的样品来测量。检出限因所用试样（基体）的不同而不同。
6.计数统计误差在放射性物质的测量中，设仪器稳定性、机械在现性可确保，由仪器机械产生的误差可以忽略不计，但计数统计误差还是不能。X射线强度是把入射到计数器上的光子变成脉冲后计数而得到的。因而计数值在本质上具有统计误差。 被测X射线的计数值（N）的分布属于随机事件，其标准偏差由 N求出。 N就叫统计误差。时间越长，则相对偏差就越小，即精度就越高。
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