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冷镜式露点仪原理
不同水份含量的气体在不同温度下的镜面上会结露。采用光电检测技术，检测出露层并测量结露时的温度，直接显示露点。镜面制冷的方法有：半导体制冷、液氮制冷和高压空气制冷。
被测湿气进入露点测量室时掠过冷镜面，当镜面温度湿气的露点温度时，镜面呈干燥状态，此时光电检露装置中光源发出的光照在镜面上，几乎完全反射，由光电传感器感应到并输出光电信号，经控制回路比较、放大、驱动热电泵，对镜面致冷。当镜面温度降至湿气露点温度时，镜面上开始结露（霜），光照在镜面上出现漫反射，光电传感器感应到的反射信号随之减弱，此变化经控制回路比较、放大后调节热电泵激励，使其制冷功率适当减小，后，镜面温度保持在样气露点温度上。镜面温度由一紧贴在冷镜面下方的铂电阻温度传感器感应，并显示在显示窗上。新能源公司仪器外校

湿度被定义为气体中水蒸气的含量，是一个重要的环境参数，常用单位有：克/升，PPM，mmHg，露点及相对湿度等。测量气体湿度的基本量是混合比，即水蒸气质量和干气质量之比，用重量法湿度计得以实现。但用重量法测量混合比技术难度大、操作繁琐，实际测量湿度量值大多数采用露点。习惯上以露点-20℃为界把所测气体分为高湿度气体与低湿度气体（即微量水）。

大气中的水蒸气影响着自然界的物理、化学和生物过程。湿度影响气体的热、电、光和传递方面的特性。环境湿度还影响固体和液体材料中的水分含量，引起材料的尺寸变化，金属材料的腐蚀，甚至决定生物体的存亡。湿度测量和控制广泛应用于航空航天、微电子、原子能、石油化工、电力、气象、仓储等领域。鉴于湿度测量的重要性，各国都在不断更新改造其湿度标准。

冷镜式露点仪

冷镜式露点仪，利用热电制冷器冷却露点传感器的镜面或声表面波器件，使气体中的水蒸气在露点传感器的镜面上冷凝为露或霜，光电系统自动控制平衡，使镜面上的露或霜与气体中的水蒸气呈相平衡状态，用铂电阻温度计准确测量镜面上露层或霜层的温度，从而获得气体的露点温度。

该方法的主要优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃；缺点是价格较高，对操作人员的要求较高，并需进行维护。对污染物敏感。响应速度较慢，尤其在露点-60℃以下，平衡时间甚至达几个小时。

该种露点仪可作为标准露点仪使用。目前国际上达到±0.1℃(露点温度)，一般精度可达到±0.5℃以内。

目前世界上生产冷镜式露点仪的公司，例如美国的GE、Edgetech、瑞士的MBW等公司均是采用这一原理，英国的MICHELL则是采用双光路检测系统，即同时对反射光及散射光进行检测，芬兰Vaisala则是利用声波作检测系统。

扫描电子显微镜（SEM）是一种大型精密仪器，它利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像。在1932年，Knoll提出了扫描电子显微镜（SEM）可以用于成像放大的概念，并在1935年成功制造出了非常原始的模型。然而，由于不能获得高分辨率的样品表面电子像，SEM一直未能得到进一步发展，仅被用作电子探针X射线微分析仪中的辅助成像装置。

直到1938年，德国科学家阿登纳成功研制出台采用缩小透镜用于透射样品的SEM。此后，在众多科学家的努力下，SEM从理论到仪器结构等方面的问题逐渐得到解决。
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1965年，英国剑桥仪器公司生产的台SEM作为商品出现，它采用二次电子成像技术，分辨率为25纳米，使SEM进入了实用阶段。

1968年，Knoll在美国芝加哥大学成功研制出场发射电子枪，并将其应用于SEM，获得了较高分辨率的透射电子像。1970年，他发表了用扫描透射电镜拍摄的铀和钍中的铀原子和钍原子像，这使SEM又进入了一个新的领域。

2021年，全数字化扫描电子显微镜新品在无锡惠山发布，标志着SEM技术的不断发展和进步。

扫描电子显微镜主要利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。新能源公司仪器外校