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洁净室压差检测的目的是为了验证(Experimental)完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于空态、静态、动态的洁净室的占用状态,工程完工后需要定期进行压差检测。
洁净室工程设计、规划、安装竣工之后,洁净室的压差是否根据设计方案来设定呢?如何能检测出洁净室的压力是多少pa呢?有什么科学的检测方法?有什么(解释:对权力的一种自愿的服从和支持)的检测依据吗?据小编了解对于分等级的洁净室使用了压差传感器(transducer)和气闸(zhá)室的情况下,即使采用目前落后的压降传感器技术,也可以达到令人满意的防护效果。FFU优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
一、无尘车间工程中压力测试(TestMeasure)方法有哪些呢?小编推荐采用以下两种测量方法,来进行无尘车间工程压力关系检测:
1、无尘车间-对-无尘车间
2、无尘车间-对-公共参考点
需要记录大量压差的大型制药厂通常采用公共参考点方法, 由此使压力传感器(transducer)的数目实现小化,同时尽大程度减小多个读数合计时所产生的复合误差。用管路将压降变送器(通常是 ;高 ;侧)的一个端口连接到被监控的洁净室,而另一侧(通常是 ;低 ;侧)则用管路连接到位于不受室外风影响的压力稳定(解释:稳固安定;没有变动)部位的公共参考点(或通过集流管连接到压力稳定(解释:稳固安定;没有变动)部位)。理想压力参考点的位置(position )应有较大的容积(volume),开口较少,相对于室外而言无压力变化或者变化速度缓慢。
二、无尘车间工程中静压差的测定要求:
1,静压差的测定是洁净厂房内所有的门全关闭状态下进行的。
2,应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行,一直到直通室外的房间。
3,测管口设置在室内不受气流干扰的地方。
4,所测数据(data)应到 1。0Pa。
三、无尘车间工程中静压差的测定步骤(procedure):
1、是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。
2、用微压差计测量洁净室之间,洁净室和走廊之间, 走廊与外界之间的压差。
3、记录在案
4、静压差测定用的仪器(appliance):静压差测定一般采用的仪器为 YJB-150 型补偿式微压计,倾斜式压力计,精密(precise)指针式压力计或灵敏度(Sensitivity)小于 1。0Pa 的其它压力计。
四、合格标准:
1、不同级别的洁净室工程(区)与非洁净室洁净室(区)之间的静压差应不小于5Pa。风淋室是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
2、洁净室工程(区)与室外的静压差应不小于 10Pa。层流罩目前级别高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。
3、对于洁净度等级严的单相流洁净室在开门时,门内 0。6m 处室内工作面的含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
工厂洁净室检测
有关洁净室等级FS-209E和ISO14644-1的对比分析
1、 等级依据公式不同而引起结果差异
ISO14644-1的洁净的度等级依据公式与FS209E的不同,主要是将参照粒径由0.5um改成0.1um;累计分布系数n,由2.2改为2.08。其结果的差异是:
1) ISO 1级比FS209E的M1级达更严的要求。ISO1级对被考虑粒径为0.1um时,其≥0.1um粒径大浓度限值,即被考虑粒径下粒子累计分布大浓度值,为10pcs/m3,而M1级则为350pc/m3,其对照可见表2。ISO的等级就更适应对洁净度控制要求更严密的发展需要。
2) 由于FS209的英制洁净度等级已为大家所熟悉,改用其他标准的等级必然需要有个方便的对应关系。ISO3、4、5、6、7、8级各与英制的1、10、100、1000、10000、100000级相当,即在被考虑粒径D=0.5 um时,其≥0.5um粒子的大浓度限值是相同的;ISO的相关等级序数都是整数,若n仍采用FS209EDE2.2,则与英制等级对应的ISO等级序数就不是整数了,因此问题不在于2.08还是2.2更符合实际,而在于放方便合适,因为大气中悬浮粒子累计分布指数n,其经验值一般在2~2.3间。
NEBB检测认证风速测试流程
测前准备:
(1)竣工图面(初版)与相关规范确认。
(2)洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
(3)测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡,并已连续运转24小时以上。(包含新风空调箱单机试运转完成,FFU、风机盘管单机运转测试完成,自动控制完成且可监控,排气系统测试单机测试运转完成。)
(4)洁净室环境需清洁完成。
(5)测试进行时业主或监造单位应有代表在场,现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的:此检测动作在于确认滤网出口风速是否达到设计要求。
法规依据:IEST推荐做法,参考NEBB第二版IES-RP-CC006.3无尘室测试程序标准。
测试仪器:风速仪,型号:ADM-870C
测试位置:每一滤网均作测试,每个滤网被划分成四个测试位置。
测试步骤:a.确认FFU配置图及滤网编号。
b.将风速仪探棒固定置于滤网测试点下方75mm处,待数值稳定后量测5秒取平均值记录。
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