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提拉头：主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成、副室：主要是副室筒以及上下法兰组成、 炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗 抽真空管道 组成/炉筒：包括取光孔、下炉筒：包括抽真空管道、底座机架：全铸铁机架和底座? 坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成、分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管 水管卡套等、管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管’电源以及电控柜：电源柜 滤波柜、控制柜、以及连接线等等、

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本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2　设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) ) 分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，计长输入小板作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)7.触发放大板(两块)作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)8.PLC作用原理以及类型输入输出(好坏如何检测)9.欧陆表的型号原理,以及一般调节方式和输入输出(好坏如何检测10.电压表,电流表,数显表原理作用,数量输入输出(好坏如何检测)11.真空计类型,原理作用以及输入输出(好坏如何检测)12.埚跟比如何调节13.手操合的作用输入输出(好坏如何检测)14.D/A板作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)15.计算机的作用原理,操作以及调节方16.电源的原理型号以及作用,输入输出(好坏如何检测)17.丝相关作用18.相关电位器的型号作用