江苏海门涡旋高真空泵回收江苏海门长晶炉回收
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从除尘区域经上盘12 个圆孔进入排气区域(排气筒) 的弃尘气流终由排气口排出除尘器。上面主要论述了这种混合式除尘器的除尘机理和过程。值得提出的是，出于某些因素的考虑例如体积小、结构简单、经济性等等，该除尘器略去了排尘区域。所以，应该经常性拆卸进行清灰工作。下面给出这种除尘器的主要技术参数：圆柱容器高度H = 900mm; 内径= á 270mm; 进气口轴线偏离圆柱容器线e= 85mm; 进气口与排气口通径均为á 89mm。内、外层金属网均采用50 目的不锈钢丝网。顺便提一下，在很多情况下，用户拆去全部金属杆和金属网，仅以离心力作为主要除尘机理便满足了单晶炉真空系统的除尘要求。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地，作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度，以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上，硅晶体直径大致每4～5年增长1时（25．4mm），相应地，生产投料重也由1公斤逐渐发展为3～5公斤、8～12公斤、15～刘公斤和朋～6O公厅等几个等级。在这发展中，有两个条件是相辅相成、共同进步的，这是单晶炉和拉晶工艺。
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由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，整个炉内的 一氧化硅与的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外，整个炉内不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀，还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上，从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置，缩短了排气管路的长度，利 于提高排气效率。
