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所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接,以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接,以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接,以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气,影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通,以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成,石墨具有强度高、抗热震性好、耐高 温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。本发明具有积极的效果(1)
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江苏宜兴真空炉回收 涡轮分子泵回收现场报价分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,设计与仿真编辑在直拉法生长硅单晶的过程中,硅单晶生长的成功与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场,不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长硅单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资硅单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出合理的热场,从而保生产出来的硅单晶的品质。在直拉硅单晶生长工艺中,一般采用温度梯度来描述热场的温度分布情况,其中在固液界面处的温度梯度为关键。数值模拟是在一个低成本的情况下,利用电脑计算提供的详尽资料,用以支持真正的(且昂贵)实验。
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