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更新时间:2024-05-23 11:28:38 编号:s13lho2mu5e900
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一种连续拉晶单晶炉背景技术:目前,大多数单晶炉都是采用一次性向主炉室坩埚投料的方法,通常是生产完一炉后,等单晶炉冷却后,再往主炉室坩埚内装料,进行下一次生产,这样既浪费了时间,又造成了热量的流失,且在拉晶棒的过程中,不能进行补料操作,在拉晶棒的后期阶段,会因为硅料中某些元素的挥发而影响晶棒后半部分的质量。技术实现要素:本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种连续拉晶单晶炉,它可以连续加料、连续化料,从而实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五六根晶棒,减少了冷却、拆炉、装炉的时间,提高了生产效率,也减少了热量的流失。为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是:一种连续拉晶单晶炉,它包括括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置,所述主炉室和下驱动装置均安装在底座上,蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,除尘机理示、扩散当含尘气流中的粉尘颗粒粒径小于1Lm 以下,特别小于0.1Lm 时,这些颗粒在随气流运动时不再沿着气体流线绕流捕集物,因而也再不能遵循惯性碰撞或接触阻留的机理被捕集物所捕集分离,而另一捕集机理——扩散在起作用。由于气体分子之间的热运动而产生的不规则运动,使气体分子之间的热运动而产生的不规则运动,使气体分子轰击着粉尘颗粒而使颗粒作扩散,可以使粉尘颗粒均匀地分布于整个气体空间。真空技术网(认为如果有一物体置于气体之中,一些超微颗粒通过扩散而沉降在这物体的表面上,从而使这些超微颗粒从气体中捕集分离、静电力悬浮在气流中的尘粒,如带有一定的电荷,可以通过静电力使它从气流中分离。由于自然状态下,尘粒的荷电量很小,因此,要得到较好的除尘效果,设置的高压电场,使所有的尘粒都充分荷电。凝聚凝聚作用不是一种直接的除尘机理。通过超声波、蒸汽凝结、加湿等凝聚作用,可以使微小粒子凝聚增大,然后再用一般的除尘方法去除。我们设计除尘器时要根据不同的具体情况,考虑一定的需要,采用某种除尘机理或者是几种除尘机理的综合运用。表1 列出几种除尘机理的除尘情况供为参考。
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