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当声压或者声强受到压力到达一定程度时候，气泡就会迅速膨胀，然后又突然闭合。在这段过程中，气泡闭合的瞬间产生冲击波，使气泡周围产生1012-1013pa的压力及局调温，这种超声波空化所产生的压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶液中，蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击。
一方面破坏污物与清洗件表面的吸附，另一方面能引起污物层的疲劳破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，污层一旦有缝可钻，气泡立即“钻入”振动使污层脱落，由于空化作用，两种液体在界面迅速分散而乳化，当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化、固体粒子自行脱落，超声在清洗液中传播时会产生正负交变的声压，形成射流，冲击清洗件，同时由于非线性效应会产生声流和微声流，而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流，所有这些作用，能够破坏污物，除去或削弱边界污层，增加搅拌、扩散作用，加速可溶性污物的溶解，强化化学清洗剂的清洗作用。由此可见，凡是液体能浸到且声场存在的地方都有清洗作用，其特点适用于表面形状非常复杂的零件的清洗。尤其是采用这一技术后，可减少化学溶剂的用量，从而大大降低环境污染。
单槽式超声清洗机是利用汽蚀作用成倍或十几倍地提高清洗效果。液体放入清洗机并加载后，由于超声波在清洗液中是一种疏密相间、辐射传播的高频波，因而使液体高速往复振动。正压区域由于周围液体来不及弥补，形成数不清的真空气泡，而正压区小泡泡在压力下突然关闭，由于液体之间互相碰撞，在封闭过程中形成强大的冲击波，形成可达数千个大气压的瞬时高压，作用于被清洁的工件。吸附工件上的油污.杂质在连续高压连续快速作用下，能迅速地脱离工件。以达到清理目的。
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