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多晶硅铸锭炉回收 |
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硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航天、工业、农业和，甚悄悄进入每一个家庭。硅片回收利用介绍硅片回收再利用是一种从废物中分离出来的有用物质经过物理或机械加工成为再利用的制作如废玻璃、废金属、硅片，废电池片的回收再利用指以将再次生产的方式。
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因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时,提拉系统的软轴会出现明显的晃动,这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施,但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析,找出引起提拉系统软轴晃动分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，其中,直接有效的方法是提高生产时效,增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作,经调研与现场试验,采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期、提高工作效率,而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度,具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封,
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