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直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。

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进一步为了方便外部加料器的移动、拆卸和清理，连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器旋转的加料器旋转驱动装置，所述外部加料器通过加料器旋臂连接在加料器升降驱动装置上，以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂升降，并通过加料器旋臂带动外部加料器升降，所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂之间，以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂一起升降，并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂旋转，加料器旋臂又带动外部加料器旋转。进一步提供了一种加料器升降驱动装置的具体结构，所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆、拖板和丝杆旋转驱动装置，底座上设置有立柱，所述升降丝杆可旋转地支承在立柱上，所述拖板通过螺纹连接在升降丝杆上，所述加料器旋臂连接在拖板上，所述升降丝杆连接在丝杆旋转驱动装置上，以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆旋转，进而将升降丝杆的旋转运动转换为加料器旋臂的升降运动。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，主要产品　　七大类：电阻炉、感应炉、真空炉、电子束炉、热处理（或熔炼）机组、热处理辅助设备、燃烧炉三． 电阻炉：三大部件：加热器、炉衬、耐构件 　　1． 分为周期式及连续式两大类 　　2． 周期式炉的特征： 　　A． 炉料同时加入同时取出 　　B． 加热时炉料基本不动（特殊情况除外：如滚筒炉，辊底炉） 　　C． 工作区内力求温度均匀3． 周期式电阻炉的分类　　A． 箱式炉 　　B． 台车炉（分为自行式和牵引式），用作退火之用，加热后工件随炉冷却 C． 井式炉