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并在副炉室3移取晶位的过程中,通过电动接晶托防止晶棒掉落,安全;当不再继续加料时,通过化料器升降驱动装置将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,并通过化料器旋臂18的旋转旋开外部化料器7,进而方便拆炉和清理;本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震,使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响,进而保晶棒质量;本发明的升降丝杆91、旋转丝杆112和丝杠192的外侧分别套装有防尘罩,进而防止润滑油脂挥发污染原料。
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